FEIの制御
提供: Eospedia
FEIで利用されている制御コードをまとめます
ステージを動作させたいとき
TEM.Stage.Positionで定義されているStagePositionクラスの変数を制御することになります。
TEM.Stageは、下記のStage Objectで定義されています。
- Stage Object
- Position
- Status
GoTo: X, Y, Z, A, B
MoveTo: X, Y, Z, A, B (一度角度を0,0にする)
StagePosition
X
Y
Z
A
B
GetAsArray(Double[5]) SetAsArray(Double[5])