FEIの制御

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FEIで利用されている制御コードをまとめます


ステージを動作させたいとき

TEM.Stage.Positionで定義されているStagePositionクラスの変数を制御することになります。

TEM.Stageは、下記のStage Objectで定義されています。

  • Stage Object
    • Position
    • Status


GoTo: X, Y, Z, A, B MoveTo: X, Y, Z, A, B (一度角度を０，０にする）


StagePosition X Y Z A B

GetAsArray(Double[5]) SetAsArray(Double[5])


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