電子顕微鏡のTIPS

電子線の質

電子線の質を上げるためには、どうすればよいかをまとめておきます。

１．FEG（電界放出型銃）を使う

２．点光源性(Spatial Coherence)をあげる 　点光源性をあげるためには、できる限り電子銃の像を小さくし、試料から離します。これにより、試料から見たときの電子銃の大きさを小さくします。

３．電子線のエネルギー(Temporal Coherence)を揃える 　電子線のエネルギーを揃えるためには、モノクロメータをりようする必要があります。