電子顕微鏡のTIPS
提供: Eospedia
電子線の質
電子線の質を上げるためには、どうすればよいかをまとめておきます。
1.FEG(電界放出型銃)を使う
2.点光源性(Spatial Coherence)をあげる 点光源性をあげるためには、できる限り電子銃の像を小さくし、試料から離します。これにより、試料から見たときの電子銃の大きさを小さくします。
3.電子線のエネルギー(Temporal Coherence)を揃える 電子線のエネルギーを揃えるためには、モノクロメータをりようする必要があります。