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電子線の質
電子線の質を上げるためには、どうすればよいかをまとめておきます。
１．FEG（電界放出型銃）を使う
２．点光源性(Spatial Coherence)をあげる
点光源性をあげるためには、できる限り電子銃の像を小さくし、試料から離します。これにより、試料から見たときの電子銃の大きさを小さくします。
３．電子線のエネルギー(Temporal Coherence)を揃える
電子線のエネルギーを揃えるためには、モノクロメータをりようする必要があります。
